Investigation d'une décharge micro-onde distribuée utilisée pour la synthèse de films de diamant nanocristallin à basse température sur des surfaces étendues
Damia Dekkar  1@  , Fabien Benedic  1@  
1 : Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux
Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux, CNRS, Univ. Paris 13

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