Caractérisation du transport des espèces neutres et ionisées en procédé RHiPIMS et corrélation avec les propriétés des dépôts de type TiN
Dimitri Boivin  1@  
1 : Institut Jean Lamour (Matériaux - Métallurgie - Nanosciences - Plasmas - Surfaces)
Université de Lorraine

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